半導(dǎo)體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，一般是用特制的抽氣機獲得真空。

   真空泵是主要的真空裝備，予華儀器循環(huán)水式多用真空泵根據(jù)實驗室面積較小這一特點，參照日本臺式泵，一次性成型外殼，縮小體積改進而成，具有體積小，重量輕，外形美觀等特點，雙表、雙頭抽氣，四表四抽頭，雙面相同的多用真空泵，既便于教師直觀演示，學(xué)生亦可在任意一面開機、關(guān)機。

　　2、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100h左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。 　　

　　3、一般情況下，真空泵工作2000h后應(yīng)進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。

　　4、重新裝配后應(yīng)進行試運行，一般須空運轉(zhuǎn)2h并換油2次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發(fā)物，待運轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處，潤滑油應(yīng)及時更換或補充。擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿）。關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。　　

　　5、用手轉(zhuǎn)動真空泵，試看真空泵是否靈活。點動電機，試看電機轉(zhuǎn)向是否正確。開動電機，當(dāng)真空泵正常運轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。盡量控制循環(huán)水真空泵的流量和揚程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證真空泵在高效率點運轉(zhuǎn)，才能獲得大的節(jié)能效果。真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35℃，高溫度不得超過80℃。 　　

　　6、如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。真空泵在工作第一個月內(nèi)，經(jīng)100h更換潤滑油，以后每隔500h，換一次油。經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。　　

　　7、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時更換。真空泵在寒冬季節(jié)使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。